微細電火花加工專注于0.1-1mm微小尺寸結構的加工，它通過超細電極（直徑在0.05-0.5mm之間）與超窄脈沖電源（脈沖寬度為0.1-5μs）的配合，實現微米級的加工精度。其工作原理是利用高頻微能放電（單次能量＜0.1mJ）來蝕除金屬材料，再配合納米級的伺服進給系統，能夠達到±0.001mm的加工精度，表面粗糙度可控制在Ra0.4μm以下。

  在批量生產微小齒輪時，采用這種加工工藝，500件齒輪的齒距偏差能夠控制在≤0.002mm的范圍內，保證了產品的一致性和精度。

  優勢：

  能夠加工傳統設備無法實現的微小結構，如0.1mm的微孔、0.05mm的窄縫、R0.02mm的圓角等。適用于陶瓷、PCD聚晶金剛石等脆硬材料的加工，不會出現崩裂的風險，保證了零件的完整性。加工過程中產生的加工力僅為微細銑削的1/100，可有效避免直徑為0.2mm的微細軸類零件發生彎曲變形。批量加工的一致性好，能夠滿足高精度、大批量生產的需求。

  設備對比：

  與微細銑削相比，在加工0.1mm以下的結構時，不存在刀具折斷的風險，而且在加工硬材料時，效率要高出3倍。相較于激光微加工，沒有熱影響區（熱影響層＜1μm），非常適合醫療器械等對材料性能敏感的領域。和電化學微加工相比，形狀控制精度更高（±0.001mm vs±0.01mm），不會出現雜散腐蝕的問題。

  使用場景：

  在微電子行業，可用于芯片引線框架模具的0.1mm引線槽加工，保證芯片的正常連接。在精密傳感器生產中，可加工0.2mm的微型探針，確保傳感器的檢測精度。在醫療器械領域，可加工0.3mm微細導管的側孔，滿足醫療器械的使用要求。在航空航天領域，可用于渦輪葉片0.5mm氣膜孔的加工，保證發動機的散熱性能。

  注意事項：

  電極應采用鎢絲或鉬絲，并且需要經過電解磨削成型，保證電極的圓度≤0.001mm。工作液要使用電阻率為10-15MΩ?cm的去離子水，過濾精度需達到0.1μm。加工環境需要達到class 1000級的潔凈度，防止灰塵等微粒影響放電過程。每加工100個微孔后，需要校準電極的垂直度，確保偏差≤0.001mm/m，以保證加工精度。